sponsored links

改善去除負光刻膠效果的方法

摘要

本文提出了一種新型的雙層光阻劑方法來減少負光阻劑浮渣。選擇正光刻膠作為底層抗蝕劑,選擇負光刻膠作為頂層抗蝕膠。研究了底層抗蝕劑的粘度和厚度對浮渣平均數量的影響。實驗表明,低粘度正光刻膠AZ703的自旋速度為3000r/min,厚度為1.10um,對光刻膠的去除有顯著影響。為了最小化頂層與襯底物接觸的面積,進一步減少浮渣,我們選擇了8µm作為底層抗蝕劑的最佳縮回距離d。

導讀

一般來說,負光致抗蝕劑具有良好的抗蝕特性作為掩模。然而,浮渣現象在負光致膠中很常見,區域水的強氧化和腐蝕會部分蝕刻光致膠,甚至導致變性,增加了浮渣去除的難度。襯底中的缺陷在隨後的自旋塗層PZT中引起大量黑點,導致壓電效能降低,襯底附著力差,特徵尺寸控制不足。因此,去除鉑表面的光致抗蝕劑是影響PZT製造工藝的關鍵。完全去除光致抗蝕劑的關鍵是克服與襯底的結合力。傳統的乾燥方法包括乾式蝕刻和溼式化學腐蝕。

在幹、溼蝕刻過程中,完全去除光致抗蝕劑對於獲得基底乾淨的表面質量至關重要。一般來說,雙層抗試劑方法可以廣泛應用於在需要非常清潔表面的各種底座上的負光刻膠去除過程。

實驗

在Si/sio2/Ti/Pt襯底中,採用雙層抗蝕劑法去除負光刻膠。製作工藝流程如圖所示。 1.

(a) 選擇2英寸的裸矽片作為基片。

(b) 所有氧化物晶片在沉積在磁控濺射裝置的腔室中之前都在150℃下烘烤。

(c) 正光刻膠在鉑晶片上旋轉塗層,然後軟烘烤。

(d) 負光刻膠直接自旋塗在正光刻膠上。

(e) 晶片在煮沸的王水(HNO3∶HCI∶H2O = 1∶3∶2)中形成圖案。

(f) 在蝕刻過程中,底層和襯底沒有被頂部分開,鉑襯底完全不受腐蝕。

結果和討論

不同的底層抗蝕劑對頂層抗蝕劑的影響:底層採用三種正光刻膠,分別為AZ50XT(粘度:3200mPas)、BP212(粘度為37mPas)和AZ703(粘度為14mPas)。在相同的自旋速度下,對不同的粘度得到了不同的厚度。表1顯示了三種4000r/min和2000r/min低速的BN308正光刻膠的厚度。

底層抗蝕劑厚度對剝離結果的影響:採用該雙層抗蝕劑法選擇AZ703作為底層抗蝕劑,底層抗蝕劑覆蓋面積的平均浮渣數(每平方米浮渣數)減少至1.69,與單層抗蝕劑法相比具有明顯的剝離效果(12.48)。然而,人渣的平均數量仍然更多,需要進一步去除。

底層抗蝕劑邊緣收縮距離的測定:如圖所示。1c,底層抗蝕劑相對於頂層抗蝕劑的收縮距離為d。在d的區域內,不能去除頂層抗蝕劑的浮渣。必須最佳化d的大小,以最大化設計面積(d為最小的)。

結論

本文研究了一種新型的雙層抗膠方法,以改善負光刻膠後的去除效果。採用正光刻膠作為底層抗蝕劑,採用負光刻膠作為底層抗蝕劑。負光刻抗蝕劑BN308以其優異的抗蝕刻特性作為掩模。我們研究了對其粘度和厚度的影響最底層可以抵抗浮渣的平均數量。結果表明,低粘度的正光刻膠有助於光致膠的去除。本信選擇AZ703為底層。在自塗過程中,當速度達到3500r/min,厚度達到0.97μm時,平均浮渣數量隨著速度的增加而增加。為保證設計結果和圖案的完整性,底層抗蝕劑的厚度儘可能保持較薄。因此,我們選擇了3000r/min的自旋速度和1.10μm的厚度作為最佳引數。為了最小化頂層與基板接觸的面積,確保圖案的完整性,我們選擇了8μm作為底層與頂層的最佳收縮距離。該方法具有操作簡單、成本低、節省時間等優點。目前,這種雙層抗電阻方法已應用於噴墨壓電列印技術,以減少鉑表面殘留的浮渣。它可以廣泛應用於負光刻膠的去除過程,在需要非常清潔的表面。

分類: 文化
時間: 2021-11-05

相關文章

為什麼我勸你穿“打底褲”少配運動鞋?看完這4組對比圖,你就懂

為什麼我勸你穿“打底褲”少配運動鞋?看完這4組對比圖,你就懂
進入秋季之後,相信大家也會開始和打底褲碰面了,一方面可以幫我們保暖,同時還可以幫助我們凹造型,但是大家一定要記住打底褲不能配運動鞋,實在是太俗氣了,稍不小心會顯得廉價,下面繼續看看吧. 一.什麼是打底 ...

我剛換了洗烘一體機,與普通洗衣機對比,有三處更好,但兩處不足

我剛換了洗烘一體機,與普通洗衣機對比,有三處更好,但兩處不足
就在上個月,我家用了六年的滾筒洗衣機"下崗"了,維修師傅說維修費要500元.現在的洗衣機都不貴,便宜的也才兩三千元,所以最後我也懶得維修了,乾脆直接買一臺新的. 以前我就有聽說過洗 ...

蘋果A15跑分出爐,與A14、高通888、麒麟9000對比,差距很大

蘋果A15跑分出爐,與A14、高通888、麒麟9000對比,差距很大
iPhone13釋出後,關於蘋果A15這款晶片,就有兩種看法. 一種是提升太多了,從118億電晶體到150億電晶體,同時蘋果表示,CPU領先50%,另外4核GPU領先30%,5核GPU領先50%,而A ...

對比完近三代iPad Pro後,我覺得2018款的最良心

對比完近三代iPad Pro後,我覺得2018款的最良心
事情的起因是這樣的. 就在前陣子,託尼寫了一篇文章,跟大家分享了我在某平臺上 " 買二手 iPad 翻車 " 的經歷,然後順便在結尾挖了個坑,說是如果各位差友感興趣,我可以整一期 ...

榮耀X10和榮耀X10 Max究竟怎麼選?不客觀對比給你答案

榮耀X10和榮耀X10 Max究竟怎麼選?不客觀對比給你答案
榮耀X10和榮耀X10 Max看似是一個系列的手機,都是超能旗艦~但是他們的定位都大不相同~很多小夥伴們在選夠榮耀X10系列新機時都不知道如何選擇這兩款機型.今天小天就和大家聊聊購買榮耀X10系列究竟 ...

預購開始前最後的對比!iPhone 13和13Pro完整對比,教你快速選擇

預購開始前最後的對比!iPhone 13和13Pro完整對比,教你快速選擇
今年iPhone 13/13 Pro和去年的12系列兩款一樣,既然為同尺寸的機型,肯定會被拿來比較.趁今晚的預訂開始前,我也整理完兩者差別,那就從我的經驗角度,來說說兩款差距和怎麼選購吧~ 13和13 ...

七大國產熱門智慧手錶對比測評丨科技美學

七大國產熱門智慧手錶對比測評丨科技美學
如今,越來越多的智慧產品進入了人們的生活.此前常常被使用者忽視的智慧手錶,在這幾年中也成為了廠商們發力的重要領域之一. 而多廠商的入局,使得大量產品進入市場,這也令使用者對智慧手錶的選擇產生了疑惑.今 ...

男性身高體重對照表,體質指數對比,看看你是否超標?

男性身高體重對照表,體質指數對比,看看你是否超標?
隨著生活質量的改善,人們的飲食越來越豐富,男性的應酬也是不斷的增加,啤酒肚也是隨之而來.其實大多數男性無論從健康還是想變帥的心態來講,都希望自己有一個好的身材,而且人胖了之後就會顯得比較油膩.但是不是 ...

野釣打不打散炮,透過我反覆實戰對比,效果差別還是挺大的

野釣打不打散炮,透過我反覆實戰對比,效果差別還是挺大的
我很多年以前野釣是沒有打過散炮的,近幾年用了散炮,發現散炮在野釣中有很大的作用.儘管誘來了無數的小雜魚,但同時也能夠誘來更多的目標魚.我前一段時間發了一些野釣打散炮的內容,有一部分釣友不太理解,總是認 ...

數字人民幣功能解密,簡單明瞭對比網銀、支付寶、微信支付等

數字人民幣功能解密,簡單明瞭對比網銀、支付寶、微信支付等
數字人民幣已經開始推廣,然而許多人對它卻缺少了解,覺得跟網銀.支付寶.微信支付等的功能差不多,顯得多餘,覺得沒必要開通數字人民幣.其實數字人民幣跟這些的區別還是挺大的.下面為大家講解一下. 數字人民幣 ...

15萬以內,吉利星瑞和比亞迪秦PLUS DM-i詳盡對比,你會選擇誰?

15萬以內,吉利星瑞和比亞迪秦PLUS DM-i詳盡對比,你會選擇誰?
文|車魔王原創 除了出生就含著金鑰匙的富二代,我想在國內普遍還是家庭條件比較一般的人居多.尤其很多時候我們選擇一輛車,是要陪伴這我們過完半輩子,當然我這樣可能說的有些嚴重,但是事實就是如此.那麼這個時 ...

20年中國軍力變化有多大?中國2001年和2021年軍事實力對比

20年中國軍力變化有多大?中國2001年和2021年軍事實力對比
過去二十年,中國人民解放軍己經從一支規模龐大但水平落後的隊伍成長為一支實力強大的現代化軍隊.儘管在大多數領域,解放軍的技術與技能水平與美軍相比仍有差距,但是這種差距己經在縮小. 回顧近二十年的強軍之路 ...

為防止學生“犯花痴”,教材編者可以有多拼?看過對比圖後才明白

為防止學生“犯花痴”,教材編者可以有多拼?看過對比圖後才明白
愛美之心人皆有之,人們對美好的事物總是抱有好感的.古代就有"貌比潘安"之說,放到當下,追星"小鮮肉"的粉絲也大有人在.而大部分人不知道的是,教科書上的歷史人物, ...

沒人惦記的原石,滿身是裂卻切出了一隻雞

沒人惦記的原石,滿身是裂卻切出了一隻雞
翡翠賭石,最怕是啥? 十個有九個會說是"裂" 沒有裂或者裂不多,還能搞點高貨, 要是有裂,想的不是高貨, 而是怎麼切,能回本. 一刀窮一刀富,這話我都說膩了. 石頭不怕大裂,就怕太 ...

李鐵國足VS米盧國足 詳細對比22名球員資料 看下國足跟巔峰期的差距

李鐵國足VS米盧國足 詳細對比22名球員資料 看下國足跟巔峰期的差距
距離中國隊在世界盃舞臺上表演已經過去接近20年了.本以為打進2002年世界盃是中國足球崛起之路的開端,沒成想那唯一一次的世界盃之路卻成了國足20年來的巔峰.而這個巔峰究竟有多高呢,現在的國足跟20年前 ...

諶龍比得了羽壇四大天王嗎?對比榮譽,至少能擠掉2個

諶龍比得了羽壇四大天王嗎?對比榮譽,至少能擠掉2個
在羽毛球界,一直有著"四大天王"的叫法,他們都是羽壇實力強大的巨星,擁有輝煌的職業生涯,並且共同創造了一個羽壇的巔峰時代,所以四大天王名氣響亮.許多羽毛球愛好者肯定都聽過這個叫法, ...

世界之大,無奇不有!來看網友們分享的一組對比圖,漲漲知識

世界之大,無奇不有!來看網友們分享的一組對比圖,漲漲知識
世界之大,無奇不有.來看Reddit網友們分享的一組對比圖,漲漲姿勢! 醫生對戴口罩和不戴口罩的培養皿分別:打噴嚏,唱歌,說話和咳嗽之後的區別(難怪有些國家疫情如此嚴重) 疫情期間長出的竹子沒有被遊客 ...

西紅門的二手房與新房對比

西紅門的二手房與新房對比
不會吧?在北京西紅門區域居然還有人要買二手房? 對於購房者來說,一直有個疑惑,究竟是買新房還是二手房?有人說,二手房價格划算,配套完善,眼見為實更放心.但,今天的置業邏輯已和此前不同.購房者步入理性購 ...

羅德曼防得住馬龍嗎?對比45次交手資料,才知道自己被騙了

羅德曼防得住馬龍嗎?對比45次交手資料,才知道自己被騙了
許多人看過羅德曼和馬龍在總決賽中連續糾纏倒地的影片,感受到了令人窒息的防守壓迫感.有一些人只看了一些防守片段就覺得羅德曼防住了馬龍,還出現了越說越誇張的現象,後來甚至有人說羅德曼是馬龍的剋星,他在總決 ...

加油的時候“加滿”與“加200”究竟誰更好?對比一下就明白了

加油的時候“加滿”與“加200”究竟誰更好?對比一下就明白了
如今,汽車市場的車型可謂是越來越豐富,從過去的柴油車,到近年的汽油車,再到新興的新能源車,有手動擋.自動擋甚至無人駕駛,各種各樣的汽車車型正適應著消費者的需求.目前在能源方面來說,新能源汽車即純電動汽 ...