中芯國際創始人張汝京又有新佈局,這次瞄準國產半導體裝置賽道,以寧波芯恩為主體攜手掌握離子注入機技術的萬業企業,成立嘉芯半導體裝置科技,萬業和寧波芯恩的持股比重分別為 80% 和 20%。
嘉芯半導體將採 “1+N” 產品平臺模式,多方位佈局半導體核心裝置賽道,覆蓋包括刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理及退火、清洗裝置等裝置環節。
對於這次與萬業的合作,是否象徵為進軍國產裝置業的第一步?張汝京告訴《問芯Voice》:“對裝置一直有興趣。”
這次張汝京是以寧波芯恩為主體與萬業合作,寧波芯恩的主要股東就是張汝京。
根據資料顯示,寧波芯恩半導體於 2017 年 10 月 20 日成立,法定代表人張汝京,公司經營範圍包括:半導體積體電路晶片的開發、設計服務、技術服務、測試封裝;半導體材料及裝置的銷售等。
之後在 2018 年,再以寧波芯恩出資去投資成立青島芯恩半導體,打造大陸第一個共享共有式積體電路製造(CIDM)專案。
張汝京在全球半導體領域有超過 40 年經驗,經歷過技術、材料、裝備等領域的研發和產業化經歷。
萬業企業是在 2018 年藉由收購裝置供應商凱世通半導體,掌握離子注入機技術,近一步轉型聚焦半導體裝置和材料領域。
2021 年 5 月,萬業企業旗下的凱世通低能大束流離子注入機率先在國內 12 英寸主流積體電路晶片製造廠完成裝置驗證驗收工作,標誌國產化裝置在成熟工藝這一重大技術領域取得商用化突破。
此外,凱世通重金屬離子注入機和超低溫大束流離子注入機完成客戶交付,高能離子注入機裝置按客戶交付計劃進行組裝; 同時,也與國內另一家 12 英寸晶片製造廠分別簽署1臺低能大束流超低溫離子注入機和1臺高能離子注入機訂單。
嘉芯半導體成立於 2021 年 4 月,萬業企業是第一大股東,持股佔比 80%; 第二大股東為寧波芯恩,持股佔比 20%。
12 月 22 日,嘉芯半導體與嘉善縣西塘鎮簽訂專案投資協議書和補充協議,該專案未來將形成年產 2450 臺/套新裝置,以及 50 臺/套半導體翻新裝備研發及製造基地,用地面積 109 畝,投資總額達 20 億元,萬業企業作為控股股東出資不超過 8 億元。
根據統計,2020 年中國大陸半導體裝置銷售額達 187 億美元,全球佔比約 30%。
根據集微諮詢資料指出,目前大陸地區晶圓廠現有產能摺合 8 寸約 162 萬片/月,總規劃產能摺合 8 寸為 462 萬片/月,潛在擴產產能摺合 8 寸達到 300 萬片/月。
當前國內半導體市場仍是高度依賴進口裝置,裝置國產率仍偏低。現在起,國產替代已成為國內晶圓廠的共識,為國產裝置帶來發展機遇期。