眾所周知,我國在光刻機領域一直處於弱勢地位,國內晶片行業的先進光刻機一直依靠進口。《科技日報》在2018年曾經評選出35項制約我國工業發展的“卡脖子”技術,晶片和光刻機名列前二。
如今3年過去了,國產光刻機的困境不僅沒有突破,而且還更加迫切。內地最先進的晶片製造企業曾在2018年斥資1.2億美元向荷蘭光刻機廠商ASML訂購了一臺EUV光刻機,至今沒有到貨,由此導致內地的晶片製造企業始終無法突破最先進的晶片製造工藝。
既然國外不給最先進的EUV光刻機,國產光刻機就必須要挺身而出了。在這方面,上海微電子是國產光刻機領域的最強代表,肩負著突破先進光刻機的重任,如今已經傳來了好訊息。
根據上海微電子釋出的最新訊息,上海微電子將推出新一代大視場高解析度先進封裝光刻機。
目前上海微電子已經與國內多家客戶達到出貨協議,預計首臺先進封裝光刻機將於年底前交付。
上海微電子釋出的這臺光刻機具有高解析度、高套刻精度和超大曝光視場三大優勢,可以幫助國內的晶片封裝企業實現多晶片高密度互連封裝技術的應用。
另外這臺光刻機還能夠滿足0.8-0.6微米解析度的光刻工藝需求,套刻精度小於100nm,並且能保持長期穩定性,主要應用於高密度異構整合領域。
值得注意的是,這臺光刻機是晶片封裝領域所使用的光刻機,與大家所熟悉的用於前道製造的光刻機不同,但上海微電子的這臺光刻機對我國的晶片封裝企業有著非常大的意義。
一般來說,晶片產業包括了晶片設計、晶片製造和晶片封裝三大環節,每一個環節都不可或缺。
與晶片製造領域一樣,晶片封裝也是一個高度分工的領域。目前全球前10大晶片封裝測試企業當中,有5家企業來自中國臺灣,其中日月光以643.28億元的營收位居世界第一大封測企業,市場份額達到30.11%。
而內地同樣在封測領域佔據重要地位,全球前10大封測企業裡有3家企業屬於內地,分別是長電科技、通富微電子和華天科技。
長電科技在2020年的營收達到255.63億元,市場份額為11.96%,位居世界第三大封測企業。通富微電子和華天科技分別以107.89億和84億的營收位居世界第五和第六。
以往國內封測企業的裝置基本來自日本的佳能和尼康、荷蘭的ASML,由於內地缺乏有實力的光刻機供應商,因此內地企業在光刻機的採購上就沒有話語權。如之前中芯採購EUV光刻機就是一個很好的例子,花了錢能否到貨還要看人家的臉色。
但是現在不一樣了,上海微電子釋出新一代的先進封測光刻機,有兩個重要的意義。一是給國內的晶片封測企業提供一個新的選擇。他們可以依靠國產裝置打造一條純國產生產線,這樣就不怕某些國家的“卡脖子”行為了。
二是國內的封測企業面對ASML等海外光刻機供應商時,有了討價還價的空間。無論是採購價格、裝置到貨時間,還是更先進的光刻機裝置,都有新的可能性。
而且以海外企業打壓國內競爭對手的“傳統藝能”。上海微電子的先進封裝光刻機一經發布,ASML或許就要降價搶奪市場了。
這在以往是有先例的。前幾年上海中微半導體宣佈成功研發出可用於5nm工藝的蝕刻機,美國的半導體裝置巨頭科林和應用材料馬上就宣佈開放裝置供應限制,內地的晶片製造企業也能採購他們最先進的蝕刻機。
因此上海微電子的先進封裝光刻機是有著重大突破意義的,還有一個好訊息就是,上海微電子用於前道製造的28nm光刻機預計也將在年底量產,國產光刻機領域可謂是雙喜臨門。
另外這兩年晶片產業發生的種種事情已經讓內地的晶片企業看清了海外晶片企業和某些國家的真面目,打造純國產的晶片產業鏈勢在必行。即便ASML等海外光刻機巨頭出手阻擊上海微電子,國內晶片企業也不會讓他們如願的。