抗微振平臺是一種專業為光學檢測裝置提供隔振的減振平臺。又因為這樣的隔振平臺專業用於光學裝置減振,業內喜歡稱之為—氣浮隔震光學平臺。
一個完整的抗微振平臺系統包含了這五個組成部分:隔振檯面、減振單元、支撐腿、安全裝置、可調地腳。核心部件是減振單元和工作臺面。抗微振平臺的工作臺面按材質大體分兩大類:大理石 檯面和不鏽鋼檯面。大理石臺面一般對工作面是00級要求,而不鏽鋼檯面也要求有不超過0.02mm/m的水平誤差,這一切都是基於保證裝置水平的技術要。
抗微振平臺的減振單元主要使用氣浮式減振器。具體又可以根據實際的使用情況下選擇精密氣浮式減振器和常規的氣浮式減振器,這就是氣浮隔震光學平臺的名稱由來。
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