掃描探針電子顯微鏡力學特性主要包括相位模式(PM)、摩擦力顯微鏡(FFM)、橫向調製FFM(LM-FFM)、粘彈性原子力顯微鏡VE-AFM、粘附力原子力顯微鏡。
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相位模式(PM):DFM測量是根據吸附能力大小、硬度、柔軟度來檢測懸臂振動中的相位滯後現象,並觀察樣品表面物理性質的差異。
摩擦力顯微鏡(FFM):沿懸臂扭轉方向掃描樣品。探針和樣品之間產生的摩擦力促使懸臂扭轉,同時獲得樣品摩擦和形貌像。
橫向調製FFM(LM-FFM):摩擦圖不受樣品凹凸和掃描方向影響,透過水平方向(懸臂扭轉方向)微振動,即可觀察樣品並測量出懸臂的扭轉量。
粘彈性原子力顯微鏡VE-AFM:透過垂直微振動來觀察樣品的粘彈性影象,並測量出由於表面粘彈性差異造成的不同的懸臂扭轉量(垂直方向上的振動)。
粘附力原子力顯微鏡:垂直方向上微振動樣品;重複探針與樣品週期性接觸分離的動作;探針與樣品分離時檢測懸臂的扭轉量;觀察吸附力分佈情況。
粘附力原子力顯微鏡