白光干涉儀目前在3D檢測領域是精度較高的測量儀器之一，在同等系統放大倍率下檢測精度和重複精度都高於共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些奈米級和亞奈米級的超精細加工領域，除了白光干涉儀，其它的儀器無法達到其測量精度要求。
工作原理：
白光干涉儀是利用光學干涉原理研製開發的超精細表面輪廓測量儀器。照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次透過分光鏡後合成一束光，並由成像系統在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由於兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決於兩束光的光程差，根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現的位置解析出被測樣品的相對高度。
它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量引數涵蓋面廣的優點，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內，確保了高效率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用於從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
白光干涉儀的測量應用：
以測量單線臺階為例，在檢查儀器的各線路接頭都準確插到對應插孔後，開啟儀器電源開關，啟動計算機，將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動調整載物臺大概位置，對準白光干涉儀目鏡的下方。
在計算機上開啟白光干涉儀測量軟體，在軟體介面上設定好目鏡下行的較低點，再微調鏡頭與被測單位臺階表面的距離，調整到計算機螢幕上可以看到兩到三條幹涉條紋為佳，此時設定好要掃描的距離。按開始按鈕，白光干涉儀可自動進行掃描測量，測量完成後，轉件自動生成3D影象，測量人員可以對3D影象進行資料分析，獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D引數。
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