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半導體裝置 減壓乾燥機

裝置名稱：減壓乾燥機

商品編號：H20609

製造商：CHUORIKA

型號：MS-036

年份：2005年2月

裝置尺寸(W × L × H)：1,240 × 880 × 1,430mm

加熱溫度：40℃ ~ 100℃

仕様：機械仕様

1、対象基板：W360 × D465 × H1.1

2、入力：3φ200V 60H

3、ワーク寸法：400 × 500 30t

4、真空ポンプ：EDWAROS XDS10

5、減圧チャンバー內でレジスト塗布後のガラス基板をピン受け/直置き方式で減圧乾燥する裝置

URL：https://semishop.net/products/info.html?id=266

半導體裝置 減壓乾燥機

分類： 財經
時間： 2021-10-24

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